多功能薄膜制备系统的设计与制作

• 作者: 任志昂 傅建娥 阳效良
• 来源期刊: 湖南理工学院学报（自然科学版）
• 关键词: 真空镀膜 化学气相沉积 多功能
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 页码范围: 79-80
• 页数: 2页
• 分类号: O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-5298.2003.01.023

摘要

设计并制作了一套具有真空蒸发沉积和化学气相沉积两种薄膜制备功能的系统.性能参数测试结果表明,该系统既能进行金刚石、BCN材料等物质的化学气相沉积,又具有完好的真空镀膜功能,且该仪器简便直观,操作方便.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	阳效良	湘潭大学材料与光电物理学院	23	136	7.0	10.0
2	任志昂	湘潭大学材料与光电物理学院	19	60	4.0	7.0
3	傅建娥	湘潭大学材料与光电物理学院	1	0	0.0	0.0