大气状态下SPM纳米加工系统的开发

• 作者: 胡小唐 胡晓东 郭彤
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 扫描探针显微镜 纳米加工 矢量式 环境控制
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 22-23
• 页数: 2页
• 分类号: TH16
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2003.01.007

摘要

对现有的商业化SPM进行了一些必要的改造,使其适合于扫描探针加工的要求.讨论了在DI公司多功能SPM基础上开发纳米加工系统的可能性,并提供了一套完整的信号施加、过程监测和环境控制的方法,实现了矢量式的纳米氧化加工,得到了30nm宽的氧化结构,为下一步进行纳米电子器件的构建奠定了基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡小唐		205	1913	21.0	33.0
2	郭彤		46	370	11.0	17.0
3	胡晓东		86	712	15.0	23.0