纳米、亚微米标准样板及SPM量值溯源

• 作者: 徐毅 李晶 高思田
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 纳米 亚微米 溯源系统 标准样板 扫描探针显微镜
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 页码范围: 81-84
• 页数: 4页
• 分类号: TB92
• 字数: 2433字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1158.2003.02.001

摘要

微电子及纳米技术的发展,对纳米、亚微米尺寸计量及仪器的量值溯源的要求越来越高.文中就建立这一量值溯源体系进行探讨,包括:样板的研制、测量及比对、由仪器和测量方法引起差异的分析等,表明了建立纳米、亚微米尺寸计量量值溯源体系的重要性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高思田		93	567	11.0	19.0
2	徐毅		15	320	10.0	15.0
3	李晶		2	50	2.0	2.0