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摘要:
从离焦效应和球差效应出发,分析了它们对高分辨率电子显微镜分辨率和通带宽度的影响,得出了最佳欠焦量下分辨率与球差系数和电子波长的关系.在最佳欠焦条件下,分辩率与球差系数的-(1/4)次方成正比,与电子波长的-(3/4)次方成正比,通带宽度随欠焦量绝对值的增大而减小.
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文献信息
篇名 离焦和球差效应对高分辨率电镜性能参数的影响
来源期刊 沈阳工业大学学报 学科 工学
关键词 高分辨率电子显微镜 离焦效应 球差效应 分辨率 通带宽度
年,卷(期) 2003,(6) 所属期刊栏目 数学·物理·化学
研究方向 页码范围 533-535
页数 3页 分类号 TH132.425
字数 1725字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1000-1646.2003.06.027
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作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 李兴元 沈阳工业大学理学院 2 7 1.0 2.0
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研究主题发展历程
节点文献
高分辨率电子显微镜
离焦效应
球差效应
分辨率
通带宽度
研究起点
研究来源
研究分支
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
沈阳工业大学学报
双月刊
1000-1646
21-1189/T
大16开
沈阳市铁西区南十三路1号
8-165
1964
chi
出版文献量(篇)
2983
总下载数(次)
5
总被引数(次)
22269
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