电磁微电机的设计与制造技术

• 作者: 张琛 赵小林 陈文元 高杨
• 来源期刊: 信息与电子工程
• 学科: 工学
• 关键词: 电气工程 电磁微电机 综述 MEMS 平面线圈
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 综述与评论
• 页码范围: 71-74
• 页数: 4页
• 分类号: TM384
• 字数: 3643字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-2892.2003.03.017

摘要

介绍了上海交通大学电磁微电机的研究、设计、制造技术及应用现状.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈文元	上海交通大学微纳米科学技术研究院	56	274	10.0	14.0
2	高杨	中国工程物理研究院电子工程研究所	6	75	5.0	6.0
6	张琛	上海交通大学微纳米科学技术研究院	50	693	14.0	24.0
7	赵小林	上海交通大学微纳米科学技术研究院	56	549	13.0	20.0