用于制备磁隧道结的模板套准新方法及装置

• 作者: 刘技文 由臣 赵燕平 陈民芳
• 来源期刊: 新技术新工艺
• 学科: 工学
• 关键词: 磁隧道结 套准 模板 定位图形
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 所属期刊栏目: 材料与表面处理
• 页码范围: 45-46
• 页数: 2页
• 分类号: TN3
• 字数: 1619字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-5311.2003.06.023

摘要

简述了现有掩模技术制备磁隧道结的过程;指出了采用定位图形套准模板存在的弊端;介绍了1种将基片固定,利用定位螺栓套准模板的装置.实践表明:采用该装置可显著提高制备磁隧道结的完好率,为纳米多层膜的制备提供了较为可靠的模板套准方法及装置.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈民芳		42	285	10.0	15.0
2	由臣		26	149	7.0	11.0
3	赵燕平		17	77	5.0	8.0
4	刘技文		25	91	5.0	8.0