PID调节器对制备纳米钛薄膜的重要作用

• 作者: 方仁昌 方昕
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米钛膜 衬底温度 PID调节器
• 年，卷（期）: 2003,（12）
• 所属期刊栏目: 纳米材料与结构
• 页码范围: 22-23,46
• 页数: 3页
• 分类号: TH861|TF823
• 字数: 1566字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2003.12.005

摘要

简述了IBAD(离子束辅助沉积)法制备纳米钛膜的过程中,关键工艺因素是如何将衬底温度维持在一个适当的范围,并运用PID(比例积分微分)调节器较好地实现这一要求的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	方昕	中国工程物理研究院工学院	11	2	1.0	1.0
2	方仁昌	中国工程物理研究院电子工程研究所	6	27	4.0	5.0