表面涂层的制备工艺与测试技术

• 作者: 杨玫 王立华
• 来源期刊: 武汉科技大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 表面涂层 制备工艺 测试技术
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 页码范围: 241-244,261
• 页数: 5页
• 分类号: TF124.8+4
• 字数: 5370字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-3644.2003.03.007

摘要

表面涂层技术能够改变材料及其制件表面成分和组织结构,获得性能优异的表面薄层,因而广泛应用于各行业.目前普遍采用的制备工艺是PVD和CVD技术.比较研究这两种技术及其改进方法,并分析膜厚检测、薄膜成分和结构以及力学性能等测试技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨玫		1	16	1.0	1.0
2	王立华		5	48	4.0	5.0