高精度数控化学抛光技术

• 作者: 侯晶 周礼书 张清华 王健 许乔 雷向阳
• 来源期刊: 中国工程物理研究院科技年报
• 学科: 工学
• 关键词: 数控化学抛光 Marangoni界面效应 微结构 精度控制 激光光学镜 制造工艺
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 页码范围: 81-82
• 页数: 2页
• 分类号: TN24

摘要

高精度光学表面数控化学抛光技术研究是针对强激光光学元件的应用需求，研究光学表面的化学抛光加工机理；基于Marangoni界面效应，采用数控化学抛光技术来实现光学表面面形及微结构形貌的高精度控制；为完成高精度激光光学元件(包括传统意义上的激光光学镜面和新型的静态连续波前校正板等)的制造进行新原理和新手段的探索。