光通信DWDM系统的100GHz窄带滤波片设计和研制

• 作者: 张荣君 朱伟丹 李申初 缪健 谌达宇 陈宝辰 陈良尧
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: DWDM 薄膜 窄带滤波片 等离子体辅助镀膜
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 75-76
• 页数: 2页
• 分类号: TN2
• 字数: 1043字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2003.01.017

摘要

根据全介质F-P多层介质薄膜滤波器的原理,设计并模拟计算了一种三腔100GHz窄带通滤波片膜系结构,利用等离子辅助镀膜和光学监测技术,在F7玻璃衬底上完成了器件的制备,并解决了衬底减薄、抛光和后继镀膜等关键工艺. 光谱特性测量的结果表明,研制的器件将在光通信以及信息技术的其它领域具有重要的应用价值.