负压吸附式环形气垫导轨的计算方法

• 作者: 任建岳 张星祥
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 负压吸附导轨 承载能力 刚度
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 现代光学仪器与精密机械
• 页码范围: 481-486
• 页数: 6页
• 分类号: TH703.4
• 字数: 3276字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2003.05.012

摘要

根据负压吸附导轨的工作原理,利用流体力学的性质,系统地建立了导轨的承载能力和气膜厚度的数学模型,得出4个结构参数、气源气压与承载能力和气膜厚度的关系.最后通过实验证明了该导轨气膜厚度在1～3 μm时,刚度稳定,最大变化量约为10%,且计算刚度与试验刚度的误差小于12%,能够适用于高精密器械的移动元件或承载元件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	任建岳	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	127	1431	23.0	31.0
2	张星祥	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	53	504	14.0	20.0