PSD233型位置敏感元件的特性及其在AFM中的应用

• 作者: 张冬仙 林晓峰 章海军
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: PSD 光谱响应 AFM 纳米技术
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 384-388
• 页数: 5页
• 分类号: TN2
• 字数: 2725字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2003.05.015

摘要

给出了自制的3mm×3mm位置敏感元件(PSD)的光谱响应特性,覆盖从紫外光、可见光到红外光(320～1150nm)的广阔区域.采用光束偏转法对其时间响应特性和位置敏感特性进行测定.阐述了PSD在卧式原子力显微镜(AFM)系统中的应用,介绍了卧式AFM的工作原理和控制系统,提供了部分样品的AFM扫描图像.结果表明,该AFM系统具有较高的成像效率以及良好的工作稳定性、图像重复性和对比度,系统的最大扫描范围为5μm×5μm,分辨率达到1nm量级,表明PSD在光谱响应、时间响应和位置敏感特性等方面具有优良性能.