薄膜生长模型与计算机模拟

• 作者: 李言荣 杨春
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜生长 模型 计算机模拟
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 247-249
• 页数: 3页
• 分类号: O484|TP391.9
• 字数: 5023字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2003.03.005

摘要

阐述了计算机模拟薄膜生长研究在纳米材料设计中的重要意义.通过最近多篇文献报道,归类介绍了常见的薄膜生长模型、原理及方法,并详细对比了分子动力学、蒙特卡罗和量子力学3类方法、原理及应用特点.报道了国内外近几年薄膜生长模型与模拟的一些研究成果.结合不同的方法与原理,以分子动力学结合蒙特卡罗模型为重点,简要评述了这些模型及模拟特点,并提出了作者的一些见解.分析了多元化合物薄膜生长模拟的技术难点,指出了量子力学计算理论与方法同分子动力学、蒙特卡罗模型相结合的新型模型是解决这一难题的发展方向,展望了今后国内外的发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李言荣	电子科技大学微电子与固体电子学院	115	824	15.0	21.0
2	杨春	电子科技大学微电子与固体电子学院	35	313	10.0	16.0