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摘要:
以硅烷SiH4和乙炔C2H2为反应原料,采用激光诱导化学气相沉积制各(LICVD)理想纳米SiC粉体.用化学分析、X射线衍射(XRD)、透射电子显微镜(TEM)及比表面积(BET)等分析测试手段对粉体进行了表征,结果表明粉体中SiC含量高于98%,平均粒径为20nm,晶体结构为β-SiC,粉体产率大于200g/h,粉体中含氧量低于1%.
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内容分析
关键词云
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文献信息
篇名 激光诱导制备纳米SiC粉体
来源期刊 沈阳工业大学学报 学科 工学
关键词 激光 制备 纳米 碳化硅
年,卷(期) 2003,(2) 所属期刊栏目 数学·物理·化学
研究方向 页码范围 170-172
页数 3页 分类号 TH115.23
字数 2012字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1000-1646.2003.02.026
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 杨柯 中国科学院金属研究所 247 3876 32.0 51.0
2 梁勇 中国科学院金属研究所 88 1472 21.0 35.0
3 线全刚 中国科学院金属研究所 8 118 5.0 8.0
4 王淑兰 中国科学院金属研究所 2 19 1.0 2.0
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研究主题发展历程
节点文献
激光
制备
纳米
碳化硅
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
沈阳工业大学学报
双月刊
1000-1646
21-1189/T
大16开
沈阳市铁西区南十三路1号
8-165
1964
chi
出版文献量(篇)
2983
总下载数(次)
5
总被引数(次)
22269
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