激光诱导化学气相沉积法制备纳米氮化硅及粉体光谱特性研究

• 作者: 李道火 浦坦 王锐 罗丽明 黄永攀
• 来源期刊: 硅酸盐通报
• 关键词: LICVD Si3N4 双光束激发 红外吸收光谱 拉曼光谱
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 专题论文
• 页码范围: 6-9
• 页数: 4页
• 字数: 2876字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-1625.2004.03.002

摘要

氮化硅是优良的陶瓷材料,应用广泛.本文研究了激光诱导化学气相沉积法制备纳米氮化硅的工作原理,提出了减少游离硅的措施,利用双光束激发制备了超微的、非晶纳米氮化硅粉体.实验证明,纳米氮化硅粉体具有一些特殊的物理性能和光谱特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王锐	中国科学院安徽光学精密机械研究所	53	317	11.0	15.0
5	黄永攀	中国科学院安徽光学精密机械研究所	14	82	6.0	8.0
9	罗丽明	中国科学院安徽光学精密机械研究所	10	74	5.0	8.0
10	李道火	中国科学院安徽光学精密机械研究所	25	254	10.0	15.0
14	浦坦		1	17	1.0	1.0