柔性微图形成型技术研究

• 作者: 刘伟庭 陈裕泉
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 软光刻 柔性微图形成型技术 柔性电子器件
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 页码范围: 480-482,486
• 页数: 4页
• 分类号: TN405
• 字数: 2563字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2003.04.024

摘要

柔性微图形成型技术是微细加工技术的一个新的方向.介绍了一种新的柔性成型系统--三维定位压控微流系统,并用它制作了柔性微五边形、六边形和微沟道.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈裕泉	浙江大学生物传感器国家专业实验室	88	1194	20.0	28.0
2	刘伟庭	浙江大学生物传感器国家专业实验室	8	70	4.0	8.0