可编程相位光栅的结构设计与制作工艺

• 作者: 殷玲 陈非凡
• 来源期刊: 清华大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 光谱分析 微光机电系统 微机电系统 可编程相位光栅 表面微工艺
• 年，卷（期）: 2003,（8）
• 所属期刊栏目: 精密仪器与机械学
• 页码范围: 1009-1012
• 页数: 4页
• 分类号: O433.4|TN403|TH744
• 字数: 3447字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-0054.2003.08.005

摘要

可编程相位光栅技术在光通讯领域有较广的应用,也可作为微型光谱仪的新颖色散器件.该文设计了一种基于MEMS的可编程相位光栅,其特征参数可以通过编程控制和改变.通过经典理论建模与分析,设计了可编程相位光栅的结构; 并对光栅的光带结构参数进行了优化,从而有利于可编程相位光栅功能的实现,提高了制作的可靠性和成功率; 设计了针对可编程相位光栅的表面硅微工艺,并对改善应力、去牺牲层和防粘连等关键问题进行了分析,改进了工艺,成功研制出样品,其结构尺寸约为 4 mm×6 mm, 有效工作部分的面积约为4 mm×2 mm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈非凡	清华大学精密仪器与机械学系	22	204	7.0	14.0
2	殷玲	清华大学精密仪器与机械学系	7	76	4.0	7.0