激光表面微观测量系统的设计

• 作者: 伏乃林 王林高 陈良海
• 来源期刊: 淮阴工学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 高频光强调制 激光相位微距测量 数字信号处理 频率合成
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 工程科学及应用
• 页码范围: 48-50
• 页数: 3页
• 分类号: TH87307
• 字数: 2126字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-7961.2003.01.011

摘要

提出了用高频光强调制、同源频率合成、软件鉴相的激光相位微距测量方法测量表面微观轮廓高度.介绍了激光表面微观测量系统的开放式PC结构、工作原理、测量电路设计与数字信号处理软件设计.该方法具有分辨率高、动态响应快、评价指标参数多样且可扩充等特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王林高	淮阴工学院电子信息工程系	13	32	3.0	5.0
2	陈良海	淮阴工学院电子信息工程系	24	42	4.0	4.0
3	伏乃林	淮阴工学院电子信息工程系	8	10	2.0	2.0