双光子激光三维微细加工及信息存储技术

• 作者: 刘允萍 周拥军 夏安东 蒋中伟 袁大军 褚家如 黄文浩
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 双光子激发 飞秒激光器 三维微细加工 三维光学信息存储
• 年，卷（期）: 2003,（7）
• 所属期刊栏目: MEMS材料与加工技术
• 页码范围: 173-176
• 页数: 4页
• 分类号: TN405
• 字数: 2331字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2003.07.051

摘要

利用具有极高脉冲光强的飞秒激光器和对光束进行强聚焦的显微镜装置可以制造具有亚微米精度的三维微器件以及进行三维高密度信息存储.文本介绍了自行开发的双光子微细加工系统以及三维高密度信息存储系统,以及用该系统进行三维光学微细加工及三维光学信息存储的实验情况,给出了部分利用已建立的加工系统所获得的初步实验结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	褚家如	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	76	566	14.0	19.0
2	黄文浩	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	88	768	14.0	23.0
3	夏安东	中国科学院分子反应动力学国家重点实验室	8	78	4.0	8.0
4	蒋中伟	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	4	45	4.0	4.0
5	袁大军	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	2	21	2.0	2.0
6	周拥军	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	3	51	3.0	3.0