一种测量金属固-固相界面自由能的新方法

• 作者: 安兵 崔崑 张同俊 袁超
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 零蠕变法 多层膜 界面自由能
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 644-646
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 字数: 2246字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2812.2003.05.005

摘要

采用零蠕变法测量Si(111)单晶片上沉积的TiAl/Al多层膜界面自由能.其实验方法为:采用基片曲率法测量TiAl/Al多层膜升温退火过程中的应力变化,分别在350℃、400℃、450℃和500℃保温,发现500℃时多层膜达到平衡状态,最终的平衡应力为0.57MPa,计算TiAl/Al的界面自由能γint为0.19J/m2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔崑	华中科技大学模具技术国家重点实验室	29	477	9.0	21.0
2	张同俊	华中科技大学模具技术国家重点实验室	31	542	10.0	23.0
3	安兵	华中科技大学模具技术国家重点实验室	43	354	10.0	16.0
4	袁超	华中科技大学模具技术国家重点实验室	8	67	5.0	8.0