基于LIGA技术的3K-2型微行星齿轮减速器的设计和制造

• 作者: 吴校生 张卫平 徐正福 陈文元 陈晓梅 陈迪
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 3K-2型微行星齿轮减速器 微齿轮 LIGA 电磁型微马达
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 374-376
• 页数: 3页
• 分类号: TH132.425
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2003.05.005

摘要

使用同步辐射光和X射线掩模板的LIGA技术能够制造大深宽比的三维微结构.详细讨论了基于该技术的微行星齿轮减速器的设计和制造,包括微行星齿轮减速器的设计、微齿轮X射线掩模板的CAD技术、X射线深层光刻、微齿轮的微电铸和微复制,以及微行星齿轮减速器的微装配.目前已经得到了金属镍的厚任?00μm的太阳轮、行星轮,厚度为200 μm的固定内齿轮、旋转内齿轮,其齿数分别为15、11、36、39.用这些微齿轮装配成了一台模数为0.03 mm、减速比为44.2、最大外径为2 mm的微行星齿轮减速器,并将其成功地应用在直径为2 mm的电磁型微马达上.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈文元		56	274	10.0	14.0
2	张卫平		57	414	10.0	19.0
3	陈迪		38	301	8.0	16.0
4	吴校生		15	65	4.0	7.0
5	徐正福		4	24	2.0	4.0
6	陈晓梅		4	30	3.0	4.0