用于ICF驱动器的分频光栅两种工艺误差分析

• 作者: 李永平 陈德伟
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: ICF系统 分频光栅 占空比 塌边结构 允许误差
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 455-458
• 页数: 4页
• 分类号: TL632
• 字数: 3010字
• 语种: 中文

摘要

对用于ICF驱动器分频光栅的刻槽深度进行了优化,使其具有更优的分频效果.在此基础上,对制作工艺带来的占空比误差和塌边结构进行了分析,给出了分频光栅具有良好分频效果时工艺上所能允许的误差范围.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李永平	中国科学技术大学物理系	54	616	12.0	23.0
2	陈德伟	中国科学技术大学物理系	6	43	4.0	6.0