光探测器与光学系统

• 来源期刊: 电子科技文摘
• 学科: 工学
• 关键词: 光探测器 光学系统 传感器阵列 微光学 机电系统 微型系统 会议录 光学开关 光学处理 傅里叶变换谱
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 页码范围: 15-16
• 页数: 2页
• 分类号: TP21

摘要

【正】 SPIE-Vol.4178 0305054SPIE 会议录,卷4178:微光学机电系统与微型系统=Proceedings of SPIE,Vol.4178:MOEMS and miniatur-ized systems[会,英]/SPIE-The International Society forOptical Engineering.—412P.(E)本会议录收集了在美国 Santa Clara 召开的微光学机电系统和微型系统会议上发表的43篇论文,内容涉及材料对微光学机电系统(MOEMS)的影响,MOEMS光学开关,束操纵与扫描,高频扫描用微扭矩镜,新型MOEMS 封装,用于显示的 MOEMS,光学处理与控制,波分复接,光学微腔设计与制造,集成傅里叶变换谱仪,大孔径 MOEMS 法布里-珀罗滤波器,光学MEMS 压力传感器阵列。