其它工艺与设备

• 来源期刊: 电子科技文摘
• 学科: 工学
• 关键词: 器件特性 微机械加工 原子力显微镜 微机电系统 会议录 致动器 SPIE 掩模 机械应力 微系统
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 页码范围: 24-25
• 页数: 2页
• 分类号: TN405

摘要

【正】 SPIE-Vol.4175 0305174SPIE 会议录,卷4175:微机械加工中的材料与器件特性=Proceedings of SPIE,Vol.4175:Material and de-vice characterization in micromachining[会,英]/SPIE-The International Society for Optical Engineenng.—200P.(E)本会议录收集了在美国 Santa Clara 召开的微机械加工中的材料与器件特性会议上发表的20篇论文,内容涉及传感器与致动器的微加工,电子原子力显微镜中的探针,多层 MEMS 有限元模拟,X-射线光刻中的图形掩模,硅微系统中一维两维机械应力实验,RF 微机电系统微开关设计。