Si基片各向异性腐蚀特性研究

• 作者: 刘少波 刘梅冬 姜胜林 曾亦可
• 来源期刊: 华中科技大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: Si基片各向异性 腐蚀特性 KTMAH腐蚀液
• 年，卷（期）: 2003,（10）
• 页码范围: 22-25
• 页数: 4页
• 分类号: TN304
• 字数: 3006字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-4512.2003.10.008

摘要

为了制备高性能铁电薄膜红外探测器,对Si微桥的湿化学腐蚀工艺进行了研究.利用Si基片各向异性腐蚀特性,在四甲基氢氧化铵(简称TMAH)水溶液中加入氢氧化钾(KOH)作为各向异性腐蚀液(简称KTMAH),研究了TMAH与KOH摩尔比、腐蚀浓度、腐蚀温度对Si基片腐蚀特性的影响.结果表明:Si(100)面的腐蚀速度随着腐蚀液浓度和温度的升高而增大,随着TMAH与KOH摩尔比的降低,KTMAH腐蚀液对掩膜层的腐蚀程度加剧.选用5 g/L的过硫酸盐(PDS)与TMAH质量分数为25%、TMAH与KOH摩尔比为2的KTMAH混合液作为腐蚀液,并在80℃×2.5 h的腐蚀条件下能得到平整的腐蚀面,可以制备质量较好的微桥结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾亦可	华中科技大学电子科学与技术系	65	723	15.0	25.0
2	刘梅冬	华中科技大学电子科学与技术系	41	707	16.0	25.0
3	姜胜林	华中科技大学电子科学与技术系	101	727	15.0	21.0
4	刘少波	华中科技大学电子科学与技术系	12	396	10.0	12.0