硅各向异性腐蚀三维计算机模拟系统的建立

• 作者: 姜岩峰 黄庆安
• 来源期刊: 机械强度
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 各向异性腐蚀 计算机模拟
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统的设计与数值模拟
• 页码范围: 484-487
• 页数: 4页
• 分类号: TP39
• 字数: 4029字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9669.2001.04.019

摘要

文中的工作属于MEMS计算机辅助设计(CAD)中的一部分内容.介绍了如何建立硅各向异性腐蚀三维计算机模拟系统,给出这个工艺模拟系统的结构框图,并就已给出框图中几个重要的方面进行了叙述.在这个框图的基础上,用C语言编写出了相应的模拟硅各向异性腐蚀工艺的软件,并给出软件的界面和演示结果.结果表明硅各向异性腐蚀三维计算机模拟系统建立的合理性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄庆安	东南大学微电子中心	35	415	12.0	19.0
2	姜岩峰	东南大学微电子中心	5	81	4.0	5.0