硅各向异性腐蚀的计算机模拟

• 作者: 陈勇
• 来源期刊: 重庆工学院学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS工艺 各向异性腐蚀 腐蚀模型 MEMS模拟 ACES IMEE
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 机械与材料
• 页码范围: 26-28,41
• 页数: 4页
• 分类号: TN40
• 字数: 3366字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-8425-B.2007.02.007

摘要

介绍了硅各向异性腐蚀的特点和采用的模型,分析影响硅各向异性腐蚀速率的因素,然后借助计算机MEMS CAD软件ACES和IMEE对硅在KOH溶液情况下各向异性腐蚀情况进行了模拟,其模拟结果对硅各向异性腐蚀速率的研究有一定的参考价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈勇	重庆邮电大学微电子工程重点实验室	159	704	14.0	19.0