基于MATLAB的硅各向异性腐蚀过程模拟

• 作者: 张佩君 黄庆安
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅 各向异性腐蚀 MATLAB 模拟
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 440-444
• 页数: 5页
• 分类号: TN402|TN405
• 字数: 3570字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2002.04.021

摘要

根据硅各向异性腐蚀特点,在硅各向异性腐蚀速率图基础上,提出算法,利用数学软件MATLAB模拟了几种简单掩膜图形的腐蚀过程.程序从二维掩膜描述出发,找到相关晶面,产生动态的三维几何结构的输出.并推导出凸角补偿时补偿条的相关尺寸.其结果对MEMS加工有一定参考价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄庆安	东南大学微电子中心	35	415	12.0	19.0
2	张佩君	东南大学微电子中心	2	29	2.0	2.0