压电微传声器的有限元分析

• 作者: 任天令 刘理天 张林涛 杨轶
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 压电传声器 有限元分析 ANSYS
• 年，卷（期）: 2003,（z2）
• 所属期刊栏目: 测量装置
• 页码范围: 194-195
• 页数: 2页
• 分类号: TN6
• 字数: 786字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2003.z2.089

摘要

利用ANSYS软件建立了压电微传声器的有限元模型,对器件进行了结构静力分析、模态分析、谐波分析,计算模拟出微传声器的本征频率.通过模拟和分析,对压电传声器的设计参数进行了优化.对比表明,有限元分析的结果与解析方法以及实验结果相一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘理天	清华大学微电子学研究所	230	1519	19.0	23.0
2	任天令	清华大学微电子学研究所	87	600	13.0	19.0
3	杨轶	清华大学微电子学研究所	7	29	4.0	5.0
4	张林涛	清华大学微电子学研究所	10	68	5.0	7.0