微机械气动红外探测器的计算机仿真

• 作者: 吴畯苗 沈光地 邹德恕
• 来源期刊: 微电子学与计算机
• 关键词: 波长选择性 非致冷 气动式红外探测器 流体-热-结构耦合
• 年，卷（期）: 2004,（7）
• 页码范围: 168-170,180
• 页数: 4页
• 分类号: TN205
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7180.2004.07.045

摘要

介绍了一种可工作于室温环境下的微型气动式红外探测器,它基于气体介质吸收特定波段的红外辐射后以无辐射气动方式激励并产生一系列热效应的物理基础,可获得包含红外辐射源信息的信号.建立了符合器件工作模式的有限元模型,采用流体-热-结构耦合方法分析了器件的机械行为以及气体介质的温度场分布,模拟并讨论了不同结构参数对器件性能的影响,为采用MEMS技术研制具有波长选择特性的非致冷气动式红外探测器提供了理论基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈光地	北京工业大学电子信息与控制工程学院北京市光电子技术实验室	192	1444	18.0	29.0
2	邹德恕	北京工业大学电子信息与控制工程学院北京市光电子技术实验室	58	270	10.0	12.0
3	吴畯苗	北京工业大学电子信息与控制工程学院北京市光电子技术实验室	1	0	0.0	0.0