溶胶-电雾化系统雾滴速度场LDV测量的研究

• 作者: 秦俊 褚家如 鲁健
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 雾滴速度 LDV系统 溶胶-电雾化 PZT铁电薄膜 微机电系统
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 光子束技术
• 页码范围: 24-28
• 页数: 5页
• 分类号: TB43
• 字数: 2310字
• 语种: 中文

摘要

用基于多普勒频移和相位差原理的LDV(Laser Doppler Velocimeter)技术研究了溶胶-电雾化系统中荷电雾滴的轴向速度及其分布,并分析了雾滴在输运过程中的受力情况.结果表明,在电场力、重力、流体拖曳力等共同作用下,雾滴轴向速度在垂直于雾场轴线的平面内沿远离轴线的方向逐渐降低,但各点速度分布的标准偏差趋于减小;随着轴向距离的增加,雾滴速度明显增大,在距喷头5 cm处高达1.2 m/s,并沿径向分布趋于一致.这些结果为溶胶-电雾化系统中薄膜沉积过程的理论研究提供了实验依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	褚家如	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	76	566	14.0	19.0
2	鲁健	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	12	125	6.0	11.0
3	秦俊	中国科学技术大学火灾科学国家重点实验室	61	1024	18.0	30.0