上海某微电子设备公司生产厂房的空调净化工程设计

• 作者: 陈浩
• 来源期刊: 空调暖通技术
• 学科: 工学
• 关键词: 厂房 空调净化 风机过滤单元 恒温恒湿 集成电路
• 年，卷（期）: kdntjs,（2）
• 页码范围: 27-31
• 页数: 5页
• 分类号: TU834.84

摘要

上海某微电子设备公司主要承担研制和生产高端集成电路制造设备。该公司研发和生产基地位于上海市张江高科技园区内，包括装配试验车间、精密机加工车间、维修车间、办公研发楼等。装配试验车间是其核心部分，要求净化及恒温恒湿。本文简介其净化空调的空气处理。

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1	陈浩		2	0	0.0	0.0