六氟化钨的合成与开发

• 作者: 于剑昆
• 来源期刊: 无机化工信息
• 学科: 工学
• 关键词: 六氟化钨 合成 开发 性质 工业化生产 化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 页码范围: 34-37
• 页数: 3页
• 分类号: TQ136.13

摘要

介绍了国外六氟化钨的制备和精制工艺进展，重点描述了电子工业中应用的高纯度六氟化钨的制备工艺。同时介绍了六氟化钨的性质、产品规范、应用及经济等方面的状况，评述了六氟化钨在国内外的发展前景。