一种新的铁电薄膜快速热处理工艺的研究

• 作者: 姚熹 李建康
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 快速热处理 链式热处理炉 减压蒸馏 钙钛矿结构
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 页码范围: 91-94
• 页数: 4页
• 分类号: TM221
• 字数: 2678字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2004.02.003

摘要

使用一种新的快速热处理的方法制备出Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)薄膜,该方法的主要设备为链式热处理炉,它主要分为三部分,即预热带、加热带和冷却带.溶胶的配制采用先通过减压蒸馏的方法得到干凝胶,再将干凝胶溶解在乙二醇甲醚中的方法得到.对干凝胶作了DSC-TG分析;对薄膜作了X-射线衍射分析,结果为纯的钙钛矿结构的晶相;在10kHz时薄膜的相对介电常数为235,介质损耗小于0.02;C-V特性曲线以及P-E电滞回线显示薄膜具有良好的铁电性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚熹	西安交通大学电子材料研究所	172	1611	18.0	30.0
2	李建康	西安交通大学电子材料研究所	3	31	3.0	3.0