日本纳米芯片加工用含氟蚀刻剂

• 来源期刊: 无机化工信息
• 学科: 工学
• 关键词: 日本 纳米芯片 含氟蚀刻剂 半导体 纳米尺寸蚀刻液
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 页码范围: 42-43
• 页数: 2页
• 分类号: TN405.98

摘要

大金公司已经成为世界上第一家开发出低成本、大批量生产含氟蚀刻和清洁溶剂的生产工艺，产品用于纳米线宽的半导体。Osaka公司计划于2003年11月启动全球生产方案。