双光子三维微细加工的进展

• 作者: 夏安东 徐藻 王翔 蒋中伟 袁大军 褚家如 郭锐 黄文浩
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 双光子激发 飞秒激光 微细加工
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 精密加工
• 页码范围: 50-53
• 页数: 4页
• 分类号: TH16
• 字数: 1279字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2004.01.010

摘要

介绍了双光子微细加工的原理及特点,总结了国内外在三维微结构、三维功能器件以及新型材料双光子微细加工的一些进展.同时介绍了作者在双光子三维微细加工研究中取得的一些研究结果.