双层弯曲热执行器的有限元分析

• 作者: 姜岩峰 张晓波
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 热执行器 有限元分析
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 29-31,43
• 页数: 4页
• 分类号: TH703
• 字数: 1208字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2004.03.007

摘要

研究了一种由多晶硅电阻、硅和金属层构成的双层弯曲热执行器.利用有限元方法计算了该执行器的纵向偏转和温度分布.为了提高精度,本文提出了一种三层结构的有限元模型,当用厚度为1 μm的硅和0.5μm厚的铝薄膜构成执行器时,在5 V电压的驱动下可以获得最大位移为25.62 μm.由有限元分析还可以得到温度分布,最后和实验结果进行了比较,并讨论了误差产生的原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姜岩峰	北方工业大学信息工程学院微电子中心现场总线技术与自动化重点实验室	44	285	7.0	15.0
2	张晓波	北方工业大学信息工程学院微电子中心现场总线技术与自动化重点实验室	21	30	3.0	4.0