纳米粉体材料氮化硅的ICP制备技术和红外光学特性

• 作者: 吴先球 樊双莉 熊予莹 符斯列 赵文锋 陈俊芳
• 来源期刊: 华南师范大学学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: ICP 氮化硅 纳米粉
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 页码范围: 72-76
• 页数: 5页
• 分类号: O434.14
• 字数: 2590字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-5463.2004.02.013

摘要

采用ICP等离子体化学气相沉积技术,用硅烷和氮气为反应气体合成氮化硅纳米粉体.利用朗缪尔探针诊断了反应室内等离子体参数,得到不同位置、不同功率和不同气压下等离子体密度的变化规律,等离子体密度随着功率的增大而增大,随着气压的升高而减小,由于离子鞘层的存在,提供了局部等离子体密度稳定的区域.利用傅立叶红外光谱仪分析了氮化硅纳米粉体红外光谱和键态结构的特性,结果表明:氮化硅的表面特性和纳米材料的表面效应导致富氧层的存在.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴先球	华南师范大学物理与电信工程学院	125	760	15.0	24.0
2	陈俊芳	华南师范大学物理与电信工程学院	69	768	12.0	26.0
3	熊予莹	华南师范大学物理与电信工程学院	38	421	11.0	19.0
4	赵文锋	华南师范大学物理与电信工程学院	3	18	3.0	3.0
5	符斯列	华南师范大学物理与电信工程学院	25	77	5.0	7.0
6	樊双莉	华南师范大学物理与电信工程学院	3	38	3.0	3.0