基于微放电加工元件轮廓测量的探针制造

• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 地球科学
• 关键词: 放电加工 测量 微探头 微型零件 微机械 轮廓 维度 三维坐标测量机
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 精密加工
• 页码范围: 124-131
• 页数: 8页
• 分类号: P5
• 语种: 中文

摘要

为了推动微加工和微机械技术的进步,微型零件轮廓和尺度测量方法的发展非常重要.可行方法之一就是使用带微探头的小型三维轮廓测量仪.这种仪器的探头必须针对某个零件的测量,按照最佳外形制造.微放电加工有着极小加工力,可用于各种探头的制造,本研究中用它进行探头加工.用这种方法制造了多种探头,将其装在基于扫瞄隧道显微技术(STM)的小型三维轮廓测量仪上.所制造的探头已被成功地用于各种微元件测量,结果表明此方法可行.