精密狭缝机构及其自动调节系统设计

• 作者: 叶军 张凤生 杨杰
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 柔性铰链 狭缝机构 光栅测量系统
• 年，卷（期）: 2004,（z1）
• 所属期刊栏目: 现代光学仪器与精密机械
• 页码范围: 68-71
• 页数: 4页
• 分类号: TH703
• 字数: 2052字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2004.z1.015

摘要

本文基于柔性铰链原理,设计了由两个并列的四边形柔性铰链构成的狭缝机构.该机构的特点是内摩擦小、运动灵敏、位移精度高.而且,两个四边形柔性铰链可在同一块弹性材料板上加工而成,易于实现高精度的制造.由单片机、步进电机、螺旋副、圆锥顶杆和光栅副构成的闭环系统实现了狭缝宽度的自动调节.尤其是光栅副的主光栅和指示光栅分别直接安装于两四边形柔性铰链上,光栅输出可直接反映狭缝宽度的变化,有效地补偿了调节系统机械部分的误差对缝宽调节精度的影响.主要技术指标:缝宽调节范围0～2 mm,调节精度±1μm,缝宽重现性±1 μm,狭缝中心位置精度±4μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨杰	青岛大学机电工程学院	35	83	5.0	6.0
2	张凤生	青岛大学机电工程学院	58	335	11.0	15.0
3	叶军	青岛大学机电工程学院	2	3	1.0	1.0