基于标量衍射理论的菲涅耳透镜衍射场研究

• 作者: 李丹 赵光兴
• 来源期刊: 安徽工业大学学报（自然科学版）
• 关键词: 菲涅耳透镜 衍射 仿真
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 研究生习作园地
• 页码范围: 158-160,167
• 页数: 4页
• 分类号: O436.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7872.2004.02.020

摘要

基于标量衍射理论,对菲涅耳透镜衍射场的光强分布规律进行了研究.提出了依据仿真结果对菲涅耳透镜的刻蚀深度进行实时检测的新方法.对该法的可行性进行了讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵光兴	安徽工业大学电气信息学院	43	176	8.0	11.0
2	李丹	安徽工业大学电气信息学院	25	110	5.0	10.0