非晶金刚石离子镀膜机自动化控制系统的设计

• 作者: 时立峰 李冬梅 赵华森 赵玉清
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 控制系统 非晶金刚石离子镀膜机 MCS-96 组态王 通信协议
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 20-24
• 页数: 5页
• 分类号: TP273|T651
• 字数: 5975字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2004.01.006

摘要

结合非晶金刚石离子镀膜机的工艺特点和要求,介绍了一种成功应用的分布式控制系统的设计,重点讨论了控制系统的硬件配置、软件设计、通信服务程序以及软件编程中的几个控制算法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵玉清	西安交通大学电子与科学技术系	17	63	4.0	7.0
2	李冬梅	西安交通大学电子与科学技术系	10	56	5.0	7.0
3	赵华森	西安交通大学电子与科学技术系	2	7	1.0	2.0
4	时立峰	西安交通大学电子与科学技术系	3	9	2.0	3.0