激光莫尔传感器在精密定位中的应用

• 作者: 张金龙
• 来源期刊: 南京师范大学学报(工程技术版)
• 学科: 工学
• 关键词: 莫尔传感器 差动技术 精密定位 工业控制计算机
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 技术应用
• 页码范围: 35-37
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 1170字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-1292.2004.01.010

摘要

应用激光莫尔信号传感器设计了一套精密定位装置,可实现高精度位置检测及精密自动定位;系统采用的激光补偿技术及差动光栅技术,极大地提高了位置检测信号的灵敏度与定位精度.实验结果表明,精密定位装置可获得±0.1μm的定位精度,对集成电路制造技术等精密加工工程领域具有重要的实用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张金龙	南京师范大学电气与电子工程学院	66	447	11.0	18.0