光刻技术在微电子设备的应用及发展

• 作者: 刘加峰 宗仁鹤 胡存刚
• 来源期刊: 光电子技术与信息
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子 光刻 下一代光刻技术
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 激光器与激光应用
• 页码范围: 24-27
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 4344字
• 语种: 中文

摘要

介绍了光刻技术在微电子领域的应用,具体分析多种短波长光刻技术的最新进展,并对在0.1μm之后用于替代光学光刻的下一代光刻技术的发展趋势作了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宗仁鹤	合肥工业大学电气与自动化工程学院	23	257	10.0	15.0
2	胡存刚	合肥工业大学电气与自动化工程学院	32	832	15.0	28.0
3	刘加峰	合肥工业大学电气与自动化工程学院	3	52	3.0	3.0