基于高能电子束曝光的相对论卢瑟福公式研究

• 作者: 李艳秋 赵国荣
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 高能电子束曝光 卢瑟福弹性散射公式 Monte Carlo方法 弹性散射截面 相对论修正
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 电子束技术
• 页码范围: 5-9
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2084字
• 语种: 中文

摘要

高能电子运动速度较大,相对论效应很明显.传统的卢瑟福弹性散射公式是由非相对论的薛定谔波动方程得出的,在预言高能电子束曝光时,需要对其进行相对论修正.采用Born近似解相对论的Dirac方程,得到相对论修正的卢瑟福公式.计算元素Si、O、C、H的弹性散射截面和散射角,与修正前的计算结果进行比较,结果表明,当电子能量达到100keV时,其相对论效应已经很明显.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李艳秋	中科院电工研究所	2	105	1.0	2.0
2	赵国荣	中科院电工研究所	1	1	1.0	1.0