电子束缩小投影曝光机对准模拟软件设计

• 作者: 史强 张福安 靳鹏云
• 来源期刊: 微电子学与计算机
• 关键词: 对准技术 标记对准模拟软件 电子束缩小投影曝光机
• 年，卷（期）: 2002,（5）
• 所属期刊栏目: 软件与算法
• 页码范围: 13-14,27
• 页数: 3页
• 分类号: TP3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7180.2002.05.005

摘要

文章介绍了对准技术,设计出用于电子束缩小投影曝光机的标记对准模拟软件,阐述其数学模型和算法设计,并模拟出标记对准的背散射信号.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	靳鹏云	中国科学院电工研究所	15	21	2.0	3.0
2	史强	中国科学院电工研究所	11	59	4.0	7.0
3	张福安	中国科学院电工研究所	9	10	2.0	2.0