CMOS二维风速计控制及检测电路的研究

• 作者: 秦明 程海洋
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 硅热流量传感器 风速计 CMOS工艺 斩波放大器 ∑-△ADC
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 显微、测量、微细加工技术与设备
• 页码范围: 38-43
• 页数: 6页
• 分类号: TN431.1|TP212.6
• 字数: 3533字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2004.06.009

摘要

针对CMOS二维风速风向传感器的工作原理,分析了传感器的控制电路及其特点,并根据该类传感器的特点,重点探讨了信号检测处理电路的形式和特点.拟采用恒温差或者温度平衡控制模式实现对加热器的控制,用斩波放大技术或热∑-△调制技术构建信号处理电路,用标准CMOS工艺实现传感器和控制处理电路的系统集成.