基于横向多晶硅二极管的CMOS兼容热风速计

• 作者: 秦明 黄庆安
• 来源期刊: 东南大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 横向多晶硅二极管 风速计 风速 风向
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 页码范围: 569-571
• 页数: 3页
• 分类号: TN379
• 字数: 1121字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-0505.2002.04.006

摘要

提出并试制了一种采用多晶硅横向二极管作为测温元件的CMOS兼容热风速计.该风速计的加热元件和测温元件均采用多晶硅技术制造,工艺与CMOS兼容.对横向多晶硅二极管的温度敏感特性调查发现,其正向电流随温度增加几乎呈线性增加,显示该多晶硅二极管具有负的电压温度系数.其值约为-1.8mV/K,非常接近单晶硅上PN结的电压温度系数-2mV/K.采用CMOS工艺试制了由8个横向多晶硅二极管组成的风速计结构,并实验测量了其风速和风向敏感特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	秦明	东南大学微电子机械系统教育部重点实验室	10	99	6.0	9.0
2	黄庆安	东南大学微电子机械系统教育部重点实验室	35	415	12.0	19.0