一种PDMS薄膜型微阀的制备与性能分析

• 作者: 崔海航 李战华 靳刚
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微流控 微阀 PDMS
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 70-75
• 页数: 6页
• 分类号: TP211.3
• 字数: 3957字
• 语种: 中文

摘要

通过厚胶光刻工艺在硅片上制备SU-8胶模板,利用该模板制备了高分子聚合物PDMS(PolydimethylsiIoxane,聚二甲基硅氧烷)微流道和薄膜结构.通过对不同结构的两层PDMS的不可逆粘接得到一种简单的阀结构,在外加气源压力作用下薄膜产生变形实现对微流道的控制.实验测量了微阀的控制气源压力与被控制液体流量之间的关系,说明膜阀的开闭性能良好.根据弹性薄膜的变形理论,对影响微阀性能的参数进行了分析,并提出了几种可行的用于薄膜微阀控制的方法.