相位连续可调毫米波MEMS移相器的研制

• 作者: 忻佩胜 朱守正 朱自强 朱荣锦 杨根庆 赖宗声 郑莹 郭方敏 陆卫 魏华征
• 来源期刊: 华东师范大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 毫米波相移器 相位连续可调 传输损耗 插入损耗 启动电压
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 页码范围: 49-55
• 页数: 7页
• 分类号: TN405
• 字数: 3733字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-5641.2004.01.008

摘要

MEMS 毫米波相移器是MEMS 毫米波相控阵天线的关键部件之一,它的性能直接决定了毫米波相控阵天线的性能.该文介绍毫米波MEMS 相移器的设计,研究低损耗衬底,Au,AlxSi1-x可动膜对下拉电压和传输损耗的影响,测试表明:21桥相位连续可调的分布式压控开关阵列-毫米波相移器在35GHz 时,启动电压5V,20V时相移量达到372°/3.5 mm,并能在不同的控制电压下根据要求改变相移量.